મોલેક્યુલર બીમ એપિટેક્સી (એમબીઇ) નો સંક્ષિપ્ત
વેક્યુમ બાષ્પીભવન તકનીકનો ઉપયોગ કરીને સેમિકન્ડક્ટર પાતળા ફિલ્મ સામગ્રી તૈયાર કરવા માટે 1950 ના દાયકામાં મોલેક્યુલર બીમ એપિટેક્સી (એમબીઇ) ની તકનીકનો વિકાસ થયો હતો. અલ્ટ્રા-હાઇ વેક્યુમ ટેક્નોલ .જીના વિકાસ સાથે, ટેકનોલોજીનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર વિજ્ .ાનના ક્ષેત્રમાં વિસ્તૃત કરવામાં આવ્યો છે.
સેમિકન્ડક્ટર મટિરીયલ્સ રિસર્ચની પ્રેરણા એ નવા ઉપકરણોની માંગ છે, જે સિસ્ટમના પ્રભાવમાં સુધારો કરી શકે છે. બદલામાં, નવી સામગ્રી તકનીક નવા ઉપકરણો અને નવી તકનીકનું નિર્માણ કરી શકે છે. મોલેક્યુલર બીમ એપિટેક્સી (એમબીઇ) એ એપિટેક્સિયલ લેયર (સામાન્ય રીતે સેમિકન્ડક્ટર) વૃદ્ધિ માટે ઉચ્ચ વેક્યુમ તકનીક છે. તે સ્રોત અણુઓ અથવા સિંગલ ક્રિસ્ટલ સબસ્ટ્રેટને અસર કરતા અણુઓની ગરમી બીમનો ઉપયોગ કરે છે. પ્રક્રિયાની અલ્ટ્રા-હાઇ વેક્યુમ લાક્ષણિકતાઓ, નવી ઉગાડવામાં આવતી સેમિકન્ડક્ટર સપાટી પર ઇન-સીટુ મેટલાઇઝેશન અને ઇન્સ્યુલેટીંગ મટિરિયલ્સની વૃદ્ધિને મંજૂરી આપે છે, પરિણામે પ્રદૂષણ મુક્ત ઇન્ટરફેસો થાય છે.


મે.બી.ઇ.
મોલેક્યુલર બીમ એપિટેક્સી ઉચ્ચ વેક્યૂમ અથવા અલ્ટ્રા-હાઇ વેક્યુમ (1 x 10) માં હાથ ધરવામાં આવ્યું હતું-8પા) પર્યાવરણ. મોલેક્યુલર બીમ એપિટેક્સીનો સૌથી મહત્વપૂર્ણ પાસું એ તેનો નીચા જુબાની દર છે, જે સામાન્ય રીતે ફિલ્મને પ્રતિ કલાક 3000 એનએમ કરતા ઓછા દરે મહત્ત્વની વૃદ્ધિ કરવાની મંજૂરી આપે છે. આવા નીચા જુબાની દરને અન્ય જુબાની પદ્ધતિઓ જેટલી જ સ્તરની સ્વચ્છતા પ્રાપ્ત કરવા માટે પૂરતા પ્રમાણમાં શૂન્યાવકાશની જરૂર હોય છે.
ઉપર વર્ણવેલ અલ્ટ્રા-ઉચ્ચ શૂન્યાવકાશને પહોંચી વળવા, એમબીઇ ડિવાઇસ (નુડસન સેલ) માં ઠંડકનો સ્તર હોય છે, અને વૃદ્ધિ ચેમ્બરનું અતિ-ઉચ્ચ શૂન્યાવકાશ વાતાવરણ પ્રવાહી નાઇટ્રોજન પરિભ્રમણ સિસ્ટમનો ઉપયોગ કરીને જાળવવું આવશ્યક છે. લિક્વિડ નાઇટ્રોજન ઉપકરણના આંતરિક તાપમાનને 77 કેલ્વિન (−196 ° સે) સુધી ઠંડક આપે છે. નીચા તાપમાનનું વાતાવરણ શૂન્યાવકાશમાં અશુદ્ધિઓની સામગ્રીને વધુ ઘટાડી શકે છે અને પાતળા ફિલ્મોના જુબાની માટે વધુ સારી સ્થિતિ પ્રદાન કરી શકે છે. તેથી, એમબીઇ સાધનો માટે -196 ° સે પ્રવાહી નાઇટ્રોજનની સતત અને સ્થિર પુરવઠો પૂરો પાડવા માટે સમર્પિત પ્રવાહી નાઇટ્રોજન ઠંડક પરિભ્રમણ સિસ્ટમ જરૂરી છે.
પ્રવાહી નાઇટ્રોજન ઠંડક પરિભ્રમણ પદ્ધતિ
વેક્યુમ લિક્વિડ નાઇટ્રોજન કૂલિંગ સર્ક્યુલેશન સિસ્ટમનો મુખ્યત્વે સમાવેશ થાય છે,
● ક્રાયોજેનિક ટાંકી
And મુખ્ય અને શાખા વેક્યુમ જેકેટેડ પાઇપ / વેક્યુમ જેકેટેડ નળી
Be એમબીઇ સ્પેશિયલ ફેઝ વિભાજક અને વેક્યુમ જેકેટેડ એક્ઝોસ્ટ પાઇપ
Vac વિવિધ વેક્યુમ જેકેટેડ વાલ્વ
● ગેસ-પ્રવાહી અવરોધ
● વેક્યુમ જેકેટેડ ફિલ્ટર
● ગતિશીલ વેક્યુમ પંપ સિસ્ટમ
Re પ્રિકૂલિંગ અને શુદ્ધિકરણ પ્રણાલી
એચ.એલ. ક્રાયોજેનિક ઇક્વિપમેન્ટ કંપનીએ એમબીઇ લિક્વિડ નાઇટ્રોજન કૂલિંગ સિસ્ટમ, એમબીઇ ટેકનોલોજી માટે વિશેષ એમબીઇ લિક્વિડ નાઇટ્રોજન કૂઇંગ સિસ્ટમ અને વેક્યુમ ઇન્સ્યુલેટનો સંપૂર્ણ સમૂહ વિકસાવવા માટે એમબીઇ લિક્વિડ નાઇટ્રોજન કૂલિંગ સિસ્ટમની માંગ નોંધી છે.edપાઇપિંગ સિસ્ટમ, જેનો ઉપયોગ ઘણા સાહસો, યુનિવર્સિટીઓ અને સંશોધન સંસ્થાઓમાં કરવામાં આવે છે.


એચ.એલ. ક્રિઓજેનિક સાધનસામગ્રી
એચ.એલ. ક્રાયોજેનિક સાધનો જેની સ્થાપના 1992 માં કરવામાં આવી હતી તે ચીનમાં ચેંગ્ડુ હોલી ક્રાયોજેનિક ઇક્વિપમેન્ટ કંપની સાથે સંકળાયેલ એક બ્રાન્ડ છે. એચ.એલ. ક્રાયોજેનિક સાધનો ઉચ્ચ વેક્યુમ ઇન્સ્યુલેટેડ ક્રિઓજેનિક પાઇપિંગ સિસ્ટમ અને સંબંધિત સપોર્ટ સાધનોની ડિઝાઇન અને ઉત્પાદન માટે પ્રતિબદ્ધ છે.
વધુ માહિતી માટે, કૃપા કરીને સત્તાવાર વેબસાઇટની મુલાકાત લોwww.hlcryo.com, અથવા ઇમેઇલinfo@cdholy.com.
પોસ્ટ સમય: મે -06-2021